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EDX可探测元素范围大（4Be~92U），局首对重元素的分析特别有效。与常规ICP-OES方法相比，次披场交手持XRF技术是一种快速、次披场交方便、廉价的贵金属含量测试方法，对于汽车尾气催化剂粉体，手持XRF检测与ICP-OES认证值对于Pd含量相对标准偏差小于5%。

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该方法的原理是：局首Fe2+在溶液中呈现为黄色，当使用K2Cr2O7进行滴定时其就被氧化为紫红色的Fe3+，据此可以判断出滴定终点。次披场交图9PtSi/Si的AES组分深度分布。

AAS对难溶元素的测定灵敏度也不十分令人满意，露广力市对共振谱线处于真空紫外区的元素，如P、S等还无法测定。

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